采购公告
公告编号:DZXYGG202502180003
一、采购项目基本情况
采购人:润西微电子(重庆)有限公司
采购项目编号:DZCGXY202502180003
采购项目名称:润西2025年度 备件需求-LAM
采购内容或范围:润西2025年度LAM 备件需求
二、供应商资格要求
无需资格审查
三、采购文件的获取
采购文件在*电子招标平台发布,不再另行线下提供纸质采购文件,凡有意参与者可在本公告期间自行登陆*平台查看和下载采购文件。
四、响应文件的提交
响应文件提交/报价截止时间: 2025-02-24 08:00:00 _(北京时间,若有变化另行通知)
响应文件提交/报价方式:在响应文件提交/报价截止时间前,通过*电子招标平台提交电子响应文件或报价,逾期提交将被拒收。
*六、采购明细
行号 |
物品/项目名称 |
单位 |
需求数量 |
补充说明 |
1 |
PVALOR008A_ORING,2-243,KALREZ 9100 |
个 |
1 |
无 |
2 |
PVALOR010A_O-RING,CLEAN FKM,-224 |
个 |
9 |
无 |
3 |
PVALOR011A_RING,CENTERING (ISO 100) |
个 |
4 |
无 |
4 |
PVALOR012A_O-RING,2-250,VITON V747-75 |
个 |
4 |
无 |
5 |
PVALOT034A_ORING,NW40,KALREZ 9100 UP |
个 |
1 |
无 |
6 |
PVALOT037A_SPRING,NESTED,WAVE,.375 OD, |
个 |
40 |
无 |
7 |
PVALOT049A_SCRW,MOER,ALUMINA,10-32 x .200 |
个 |
44 |
无 |
8 |
PVALOT050A_WASHER,WAVY,362OD,INCONELX750 |
个 |
200 |
无 |
9 |
PVEXOR001A_ORING,2-324,KALREZ 8575 |
个 |
56 |
无 |
10 |
PVEXOR004A_ORING,SPLICED,.210,37.000IN,V |
个 |
1 |
无 |
11 |
PVEXOR007B_ORING,2-112,VITON |
个 |
8 |
无 |
12 |
PVEXOR009A_ORING,-112,PERLAST,G74P,.487I |
个 |
114 |
无 |
13 |
PVEXOR012B_ORING,PVCover,2-259,XM |
个 |
6 |
无 |
14 |
PVEXOR013A_ORING,2-313,CHEMRAZ,E38,.662"ID X .21"W |
个 |
8 |
无 |
15 |
PVEXOR014A_ORING,-210,PERLAST,G74P,.734ID x .139CS |
个 |
60 |
无 |
16 |
PVEXOR015A_ORING,CLEAN FKM,-249 |
个 |
15 |
无 |
17 |
PVEXOR016A_ORING,CLEAN FKM,SP,46.60 ID X .275 DIA |
个 |
8 |
无 |
18 |
PVEXOR017A_O-RING,2-258,VITON,1 |
个 |
2 |
无 |
19 |
PVEXOR018A_O-RING,CLEAN FKM,6.984 ID X .139 DIA |
个 |
8 |
无 |
20 |
PVEXOT043A_SHWRHD,300MM,13",3292 HOLES,C3 |
个 |
52 |
无 |
21 |
PVEXOT046B_FILTER,INLINE,WAFRGRD |
个 |
4 |
无 |
22 |
PVEXOT048B_FILTER,HI FLOW,1/4 VCR M-M,5" |
个 |
4 |
无 |
23 |
PVEXOT053A_RING,CNTRNG,NW16,AL,ID,PERLAST |
个 |
8 |
无 |
24 |
PVEXOR020A_ORING,AS568A-025,DUPRA DU3R1,RED (RPC V16) |
个 |
32 |
无 |
25 |
PVEXOR019A_ORING,P14,9100 (RPC V16) |
个 |
32 |
无 |
26 |
PVEXOR021A_ORING,V15,CHEMRAZ XRZ (RPC V16) |
个 |
32 |
无 |
27 |
PVEXOT056A_RING,CNTRNG,NW16,TEFLON,OD,PER |
个 |
8 |
无 |
28 |
PVEXOT057A_GATE,PV,DOUBLE BONDED,KALREZ 9 (VAT PN 467544) |
个 |
10 |
无 |
29 |
PBSPOT002A_BWE chuck pin 390ENTRIC PIN CHUCK 300 Z=28 M=0.5 |
个 |
96 |
无 |
30 |
PBSPOT009A_BWE 伯努利ECO Pin |
个 |
36 |
无 |
31 |
PBSPOT004A_BWE chuck压缩pin弹簧VD-043 |
个 |
1 |
无 |
32 |
PBSPFI011C_SP323 DI滤芯(0.03um) |
个 |
2 |
无 |
33 |
PBSPFI013C_SP323 SPIN E/D滤芯50nm |
个 |
4 |
无 |
34 |
PBSPFI012C_SP323 DHF滤芯(0.05um) |
个 |
2 |
无 |
35 |
PDFLOT050A_SLV,ADPTR,SLIP-ON,SELFCNTR,V PEEK |
个 |
60 |
无 |
36 |
PDFLOT049A_Confinimentring 垫片小 |
个 |
793 |
无 |
37 |
PDFLOT040A_Confinimentring 垫片大 |
个 |
199 |
无 |
38 |
PDFLOT044A_HANGER,4R,.025,.08-.08-.12-.12 |
个 |
199 |
无 |
39 |
PDFLOT046A_PIN,ALIGN,UPR ELCTD,300MM |
个 |
265 |
无 |
40 |
PDFLGK001A_backing plate brown gasket |
个 |
34 |
无 |
41 |
PDFLOT047A_SLV,ALIGN, INNER ELCTD |
个 |
5 |
无 |
42 |
PDFLSR003A_Inner electrode clamp hex washer |
个 |
199 |
无 |
43 |
PDM4OT013A_injector |
个 |
4 |
无 |
44 |
PDM4OT010A_TCP window |
个 |
4 |
无 |
45 |
PDVMOT017A_Top edge ring |
个 |
15 |
无 |
46 |
PDVMQU002A_injector |
个 |
15 |
无 |
47 |
PDKYOT002B_INJ,DUAL,IEP,SMOOTH QTZ |
个 |
1 |
无 |
48 |
PDKYOT001B_WDO,GAS INJ,FACE SEAL,QRTZ,NSG |
个 |
1 |
无 |
49 |
PDFLOT008A_RING,COVER,OUTER,GND |
个 |
159 |
无 |
50 |
PDFLQU004A_COV,H/E RING,QTZ |
个 |
67 |
无 |
51 |
PDFLQU001A_RING,WAP,QTZ,GENERIC,17.07 ID, 300MM |
个 |
80 |
无 |
52 |
PDFLOT002A_RING,WAP,17.07X10THK,300MM |
个 |
20 |
无 |
53 |
PDFLQU003A_SLV,QTZ,STEPPED,PIN,DC BIAS |
个 |
133 |
无 |
54 |
PDM4OT009A_Bot edge ring |
个 |
4 |
无 |
55 |
PDKYOT008A_RING,EDGE,BOT,QTZ,200-300MM |
个 |
18 |
无 |
56 |
PDKYQU002A_OES,WINDOW |
个 |
43 |
无 |
57 |
PDKYOT009A_RING,EDGE,TOP,QTZ,EBP,300MM |
个 |
146 |
无 |
58 |
PDM4OT012A_Top edge ring |
个 |
4 |
无 |
59 |
PDFLOT048A_PIN,PICK UP,DC BIAS,SI CARB. |
个 |
67 |
无 |
60 |
PDFLOT006A_Coupling Ring |
个 |
34 |
无 |
61 |
PDFLOT005A_R,HE,4XX ESC,W/O FLAT,300MM,SS |
个 |
17 |
无 |
62 |
PDFLOT003A_ELCTD,INR,SI,300MM. |
个 |
34 |
无 |
63 |
PDFLOT001A_ELCTD,OUTER, .18 STEP, 300MM. |
个 |
34 |
无 |
64 |
PDVMOT018B_Bottom Edge Ring |
个 |
4 |
无 |
65 |
PDVMQU001A_TCP window |
个 |
10 |
无 |
66 |
PDFLSR004A_Inner electrode clamp lock washer |
个 |
15 |
无 |
67 |
PDKYOR005A_injector bottom o-ring,1.049 ID X .103 C/S W |
个 |
60 |
无 |
68 |
PDKYOR016A_views port 1.112IDX.103C/ |
个 |
43 |
无 |
69 |
PDKYOR014A_OES O-RING,FFKM,1.237 ID |
个 |
43 |
无 |
70 |
PDKYOR006A_O-RING,FFKM,.609 ID X .139 C/S W |
个 |
79 |
无 |
71 |
PDKYOR008A_injector upper O-RING,SSE38,0.671 ID * .139 |
个 |
49 |
无 |
72 |
PDKYOR007A_TOP chamber upper O-RING,17.955 ID X .139 C/S W |
个 |
166 |
无 |
73 |
PDKYOR017A_views port 1.698IDX.142C/ |
个 |
86 |
无 |
74 |
PDKYOR002A_O-RING,FFKM,21.171 ID X .142 C/S W |
个 |
96 |
无 |
75 |
PDVMOR002A_chamber O-ring |
个 |
48 |
无 |
76 |
PDFLOR017A_WAP pickup DC156 O-ring |
个 |
34 |
无 |
77 |
PDKYOR003A_ESC O-RING |
个 |
95 |
无 |
78 |
PDFLSR005A_Inner electrode clamp screw |
个 |
199 |
无 |
79 |
PDFLOT052A_ASSY,RTNR,SPR TL,300MM,FLEX(弹簧挂圈) |
个 |
100 |
无 |
80 |
PDFLSR001A_ASSY,STUD,SOCKET |
个 |
265 |
无 |
81 |
PDKYOT026A_views port assembly |
个 |
43 |
无 |
82 |
PDFLOT041A_Talon Gaskets 300mm |
个 |
80 |
无 |
83 |
PDFLOT054A_Cirlex shim set - larger one |
个 |
34 |
无 |
84 |
PDKYOT023A_CLIP,RETAINING, SYM DOOR MNT |
个 |
96 |
无 |
85 |
PDFLOT053A_Backing plate – TCP brown gasket |
个 |
15 |
无 |
86 |
PDKYOR013A_OUTER liner 特氟龙 |
个 |
144 |
无 |
87 |
PDVMOR011A_VAC Paddle O-ring |
个 |
80 |
无 |
88 |
PDSFOR002A_chamber O-ring |
个 |
3 |
无 |
89 |
PDKYOR011A_VAT O-RING |
个 |
178 |
无 |
90 |
PDKYOR012A_VAT O-RING |
个 |
115 |
无 |
91 |
PDFLOR030A_VAT cover O-ring |
个 |
15 |
无 |
92 |
PDKYOR018A_O-RING,FFKM,15.879 ID X .142 C/S W |
个 |
27 |
无 |
93 |
PDKYOR002A_TOP chamber lower O-ring ,SSE38,21.171ID * .142 |
个 |
96 |
无 |
94 |
PDVMOR009A_EXTNSN line o-ring |
个 |
10 |
无 |
95 |
PDVMOR010A_EXTNSN line o-ring |
个 |
10 |
无 |
96 |
PDVMOR013A_strip slit door o-ring(9.734*.139) |
个 |
20 |
无 |
97 |
PDVMOR003A_heater plate o-ring/heater plate o-ring |
个 |
20 |
无 |
98 |
PDFLOR004A_O-RING,SILICONE,DIA.21.215 X C/S DIA.210 |
个 |
15 |
无 |
99 |
PDVMOR007A_VAT Rocker Valve Door o-ring |
个 |
10 |
无 |
100 |
PDSFOR004A_chamber O-ring |
个 |
1 |
无 |
101 |
PDSFOR007B_chamber O-ring |
个 |
1 |
无 |
102 |
PDSFOR003A_chamber O-ring |
个 |
1 |
无 |
103 |
PDSFOR006A_chamber O-ring |
个 |
1 |
无 |
104 |
PDSFOR005B_chamber O-ring |
个 |
1 |
无 |
105 |
PDSFOR001B_chamber O-ring |
个 |
16 |
无 |
106 |
PDVMOT014A_Tube o-ring |
个 |
40 |
无 |
107 |
PDFLOR017A_O-RING,FKM, .614 ID X .070 C/S W |
个 |
34 |
无 |
108 |
PDFLOR019A_chamber O-ring |
个 |
45 |
无 |
109 |
PDFLOR027A_Inner electrode – backing plate DC156 O-ring |
个 |
15 |
无 |
110 |
PDFLOR028A_Inner electrode – backing plate DC156 O-ring |
个 |
15 |
无 |
111 |
PDVMOR004A_gas block O-ring |
个 |
10 |
无 |
112 |
PDFLOR025A_O-RING,FSI, 9.737 ID X .103 C/S W. |
个 |
15 |
无 |
113 |
PDFLOR022A_O-RING,FSI, .359 ID X .139 C/S W |
个 |
1 |
无 |
114 |
PDFLOR014A_O-RING,FSI, .421 ID X .139 C/S W |
个 |
15 |
无 |
115 |
PDVMOR005A_Top Plate Showing Gas Block O-Rings |
个 |
10 |
无 |
116 |
PDFLOR016A_chamber O-ring |
个 |
30 |
无 |
117 |
PDFLOR012A_chamber O-ring |
个 |
30 |
无 |
118 |
PDFLOR023A_chamber O-ring |
个 |
15 |
无 |
119 |
PDFLOR009A_chamber O-ring |
个 |
15 |
无 |
120 |
PDFLOR008A_Al backing plate to TCP blue FSI O-ring |
个 |
15 |
无 |
121 |
PDFLOR029A_O-RING,FSI, 14.984 ID X .139 |
个 |
15 |
无 |
122 |
PDFLOR002A_O-RING,FSI, 16.955 ID X .139 C/S W |
个 |
1 |
无 |
123 |
PDVMOR006A_chamber lid o-ring/heater plate o-ring/ |
个 |
10 |
无 |
124 |
PDFLOT043A_KIT,CHOKE RING |
个 |
15 |
无 |
125 |
PDFLOT051A_Backing plate – TCP gasket set |
个 |
15 |
无 |
126 |
PDFLOT056A_RING,COUPLING,CERAMIC,W/FLAT,300MM |
个 |
20 |
无 |
127 |
PDFLOT057A_RING,HE,4XX ESC,W/FLAT,300MM |
个 |
40 |
无 |
128 |
PDKYOR020A_O-RING,FFKM,1.299 ID X .103 C/S W | CE! |
个 |
200 |
无 |
129 |
PDKYOR019A_O-RING,FFKM,.987 ID X .103 C/S W | CE! |
个 |
50 |
无 |
130 |
PDKYQU003A_WDO,QTZ,BAYONET,2300 |
个 |
76 |
无 |
131 |
PDKYOT027A_INJ,DUAL,FACSEAL,IEP,HNYCMB,CER |
个 |
30 |
无 |
七、答疑澄清、通知
答疑澄清、通知等文件一经在*电子采购平台发布,视为已发放给相应供应商(发放时间即为发出时间),请随时关注*电子采购平台发布的相关信息,并及时查阅和处理。
八、其它事项
1.本公告在*电子采购平台(*)上公开发布。
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2025年02月18日
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