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润西微电子（重庆）有限公司润西 EPI TF工艺备品备件(AMAT)2025年度采购公告

发布时间： 2025-02-20 项目区域：重庆

采购公告

公告编号：DZXYGG202502200012

一、采购项目基本情况

采购人：润西微电子（重庆）有限公司

采购项目编号：DZCGXY202502200008

采购项目名称：润西 EPI TF工艺备品备件(AMAT)2025年度采购

采购内容或范围：

二、供应商资格要求

无需资格审查

三、采购文件的获取

采购文件在*电子招标平台发布，不再另行线下提供纸质采购文件，凡有意参与者可在本公告期间自行登陆*平台查看和下载采购文件。

四、响应文件的提交

响应文件提交/报价截止时间： 2025-02-25 08:00:00 _（北京时间，若有变化另行通知）

响应文件提交/报价方式：在响应文件提交/报价截止时间前，通过*电子招标平台提交电子响应文件或报价，逾期提交将被拒收。

*六、采购明细

行号	物品/项目名称	单位	需求数量	补充说明
1	PEERAM005A DOME, UPPER, EPI 300MM RP	个	2	无
2	PEERAM013A LINER, CHAMBER UPPER X-FLOW, EPI 300MM	个	5	无
3	PEERAM012A LINER, CHAMBER LOWER X-FLOW BFE, EPI 300MM	个	5	无
4	PEEAQU005A INSERT, CHAMBER INLET, 5 ZONE	个	10	无
5	PEEAQU009A SHAFT, WAFER LIFT, 9.0 BC	个	2	无
6	PEERAM004A SIX ARM SUSCEPTOR SUPPORT SHAFT	个	2	无
7	PEERAM001A INSERT, CHAMBER EXHAUST LINER, QUARTZ, E	个	10	无
8	PEEAOT034A BLOCK, CHAMB LINER INSERT, X-FLOW SVT, EPI 300MM	个	2	无
9	PEEAOT033A BAFFLE, INJECT, LTV, HIGH OUTER FLOW, EPI 300MM	个	2	无
10	PEEAVA027A INSERT, SLIT VALVE TUNNEL W/PINNING, EPI	个	4	无
11	PEEAOT032A QUARTZ PIN, EXTENDED HD SLIT TUNNEL INSE	个	2	无
12	PEEAQU007A DOME, LOWER, EPI/HTF 300MM	个	2	无
13	PEEAQU004A DOME, UPPER CURVED, EPI 300MM	个	6	无
14	PEEAQU010A LINER, CHAMBER, UPPER, .25 POCKET, EXTENDED EXHAUST	个	6	无
15	PEEAQU006A LINER, CHAMBER LOWER X-FLOW, PARTITIONED VENTED, W/ PINNING, ATM, EPI 300MM	个	6	无
16	PEEAQU005A INSERT, CHAMBER INLET, 5 ZONE	个	10	无
17	PEEAQU009A SHAFT, WAFER LIFT, 9.0 BC	个	2	无
18	PEEAQU008A SHAFT SUSCEPTOR SUPPORT W/O CENTER PIN, EPI 300MM	个	6	无
19	PEEAQU003A INSERT, SST, CHAMBER EXHAUST, EPI 300MM	个	12	无
20	PEEAOT034A BLOCK, CHAMBER LINER INSERT, X-FLOW, EPI	个	2	无
21	PEEAOT033A BAFFLE, INJECT, LTV, HIGH OUTER FLOW, EPI 300MM	个	2	无
22	PEEAVA027A INSERT, SLIT VALVE TUNNEL W/PINNING, EPI 300MM	个	4	无
23	PEEAOT032A QUARTZ PIN, EXTENDED HD SLIT TUNNEL INSERT LOCKING, EPI 300MM	个	2	无
24	PEEAQU007A DOME, LOWER, EPI/HTF 300MM	个	2	无
25	PEERAM002A LAMP, 2KW 120V, EPI	个	200	无
26	PVPRSR002A SCREW LIFT HOOP HAYNES 242 PROCEDURE SE	个	10	无
27	PVPRSR003A WASHER 3/16#10 SPRING INCONEL X.750 NI CONTRACT	个	10	无
28	PVPRVC004A SCREW,8-32 VENTED,BLOCKER,PROD	个	180	无
29	PVPRVC043A SCREW, PUMPING PORT DAM, SACVD PRODUCER SE	个	20	无
30	PVULIS001A RUBBER,SICONE,HEAT CONDUCT,0.40"THK 18" X 18" TA	个	2	无
31	PVULIS002A PAD,THERMAL,SIDE COIL ASSY,300MM ULTIMA X HDPC	个	19	无
32	PVULVC016A WASHER, NOZZLE, ULTIMA HDPCVD	个	20	无
33	PSENOT141A Execta AL,SCR CAP HD HEX SKT 10-24X.750LG ASME B	个	200	无
34	PSENOT142A Execta AL adapter cooling water parts,ORING ID.674 CSD.103 VITON 75DURO BLK	个	2	无
35	PSENOT145A Execta AL,FTG NIPPLE MALE PIPE 3/8NPT X 3/8 NPT	个	7	无
36	PSENOT166A Execta AL,PLUG BTN STD .750 DIA-HOLE .92X.08 HD BRS,NI PLT	个	6	无
37	PSENOT169A Execta AL,WSHR FLAT #10.438OD X.219ID X.049THK SST	个	7	无
38	PSENOT256A IMP KITS,WSHRELAT *10 3750DX195IDX 060THK SST	个	5	无
39	PSENOT303A IMP,WSHR BLVL #8.315OD X.165ID X.016T INCONEL	个	50	无
40	PSENAS025A TXZ, CVG KITS, OUTPUT MANIFOLD, GAS BOX SIDE,CVG	个	2	无
41	PSENAS029A TXZ, CVG KITS, MAINFOLD, LID GAS/WATER INLET,CVG,代替0040-03617	个	2	无
42	PSENOT192A SCRCAP SKT HD 8-32 X 1/4L HEX SKT SST SL	个	100	无
43	PSENOT194A SCRCAP SKT HD 8-32 X 1/8L HEX SKT SST SL	个	100	无
44	PSENOT224A STRAP , EQUIPOTENTIAL , DT - ESC 300MM	个	2	无
45	PSENSR003A SCRCAP SKT HD 8-32 X 1/2L HEX SKT SST SLVR-PLT，IMP Feedthrough和DS TTN背面的3颗螺丝 (通用)	个	7	无
46	PSENSR008A SCRW,CAPTIVE,RF FT,1/4"-20 TORX HD,VCTR IMP,300MM	个	23	无
47	PSENSR009A SCREW,8-32X1"L SKT HD CAP,TORX, NITRONI",IMP RF Housing螺丝	个	23	无
48	PSENSR010A SCRCAP SKT HD 8-32X5/8"L TORX SKT NITRO",IMP Ti Coil螺丝	个	33	无
49	PSENSR012A TXZ_SCREW, CENTERING PURGE HEATER SST, 300MM,Edge ring上锁的3颗螺丝	个	18	无
50	PSENSR017A TXZ, showerhead screw, 10-24, 1.5L HEX SKT SST SLVR-PLT	个	43	无